Optisches Messsystem (Modul) für Laseranlagen

 

Lasermikrobearbeitungsmaschine Hardware Modul GL.topo


Um eine hochgenaue Bearbeitung evaluieren zu können, bedarf es einer sehr präzisen Messtechnik.

GL.topo ist ein optisches Messsystem zur Oberflächenerfassung, welches es ermöglicht, auch die bei der Laserbearbeitung typischerweise sehr kleinen Strukturieren und dünnen Schichten sicher zu erfassen. Die Messung basiert auf einem konfokal chromatischen Sensor, welcher eine axiale Auflösung von wenigen Nanometern erreicht und mehrere tausend Messungen pro Sekunde ermöglicht. GL.topo ist komplett in das Maschinenkonzept eingebunden und wird über die Software Steuerung bedient. Einsatz findet GL.topo bei der Qualitätssicherung der Bauteile (Geometrie, Rauheit, Abtragstiefe, Abstand, etc.) als auch zur Datenaufnahme für eine Replikaherstellung oder für die Ermittlung des abzutragenden Restmaterials.

 

SPE­ZI­FI­KA­TIO­NEN


Highlights
  • Konfokale chromatische Sensoren
  • Messabstand: 21 mm (61 mm)
  • Messbereich: 1 mm (2 mm)
  • Messfrequenz: 66 kHz (20 kHz)
  • Messfleckdurchmesser: 4 µm (12,5 µm)
  • Auflösung axial: 35 nm (66 nm)
  • Numerische Apertur: 0,7 (0,26)
  • Komplett in Steuerung und Software eingebunden

 

PRODUKT­BILDER


GL.topo
GL.topo
GL.topo